开发区生态环境局关于对萍乡哈工科技产业发展有限公司《新一代半导体复合衬底材料产业化项目》环境影响报告表的拟批准公示

2020年8月3日

    根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审议,我局拟对萍乡哈工科技产业发展有限公司新一代半导体复合衬底材料产业化项目环境影响报告表作出批复决定。为保证此次审议工作的严肃性和公正性,现将建设项目的基本情况予以公示。

    听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,申请人、利害关系人可对上述拟作出建设项目环境影响评价文件批复决定要求听证。

电话:0799-7191997

传真:0799-7191997

通讯地址:江西省萍乡市开发区苏州东街110号

项目名称

新一代半导体复合衬底材料产业化项目

建设地点

萍乡经济技术开发区周江产业园A7

建设单位

萍乡哈工科技产业发展有限公司

环评机构

江西昊风环保科技有限公司

建设项目  概况

萍乡哈工科技产业发展有限公司计划总投资3200万元在萍乡经济技术开发区周江产业园A7栋标准厂房3楼新建新一代半导体复合衬底材料产业化项目。企业拟建两条生产线,年产单晶金刚石7000片、微波设备10套。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

一、施工期环境影响分析

1、大气环境影响分析

现场作业燃油动力机械和运输汽车过程中会产生一定粉尘,但采取一定有效的防范措施之后,可以减缓施工期对施工现场和厂区外环境的污染。

1)汽车行驶路面要适当洒水,使表面有一定的湿度,减少扬尘;

2)运输汽车应完好,运载泥土、水泥、砂等不得超载,并尽量采取遮盖、密闭措施,以防泥土洒落、被风扬起。

2、地表水环境影响分析

施工期改建过程中生产的废水有施工现场清洗、混疑土养护废水以及施工人员生活污水。雨季作业场面的地面经流水,含有一定量的泥土和高浓度的悬浮物。对此,可采取下述措施:

1)施工现场应建有临时集水池,沉砂池等临时性的水处理设施;

2)生活污水经预处理后经园区污水管网排入污水处理厂处理后最终汇入萍水河。

3、声环境影响分析

施工期噪声主要产生于建材运输车辆、厂房修建完善、设备安装调试等等。由于施工设备声级较高,会对环境产生不利影响,为此,必须加强管理,掌握周围居民的作息时间,合理安排施工,尽量不在夜间进行高噪声设备的施工作业,混凝土需要进行连续作业时应先做好人员、设备、场地、材料的准备工作。

4、固体废弃物影响分析

施工期间产生的固体废弃物主要为建筑垃圾和生活垃圾。生活垃圾要及时清运处理。土建垃圾要就地填埋,金属垃圾要进行回收利用,各种垃圾应分别堆放不得随意弃于现场。

二、营运期环境影响分析

1、大气环境影响分析

本项目产生的废气主要为超声波清洗过程产生的挥发性有机废气、CVD沉积系统排出的尾气以及切割和抛光工序产生的少量粉尘。

1)清洗工序产生的有机废气

项目清洗过程使用乙醇(95%),按照建设单位提供的资料使用量约为0.015t/a,由于乙醇污染物排放无国家及地方标准,因此本环评以VOCs进行评价。项目有机废气产量量以乙醇全部挥发计,则有机废气最大产生量约0.0143t/a。项目年生产时间为2080h,年排放速率为6.9g/h,根据《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB 37822-2019)中10.3.2指出收集的废气中NMHC初始排放速率≥3kg/h时,应配置VOCs处理设施,处理效率不应低于80%;由于项目年排放速率6.9g/h<3kg/h,项目挥发性有机物进行无组织排放,本评价要求对产生废气的进行厂房机械通风,减少车间内废气浓度。

2CVD沉积系统尾气

项目在CVD系统工作时,通入的气体主要为氢气、氩气、氮气、氧气以及甲烷气,在CVD系统中进行等离子化,形成含碳活性基团和原子氢、氧、氮、氩以及少量水和碳等,其中碳绝大部分沉积在基体上从而生成人造金刚石。在CVD沉积车间设集气装置(总风量为3000m3/h),将产生的VOCs废气收集后经通过楼顶15m高排气筒排放。

2、地表水环境影响分析

项目运营期产生的废水为籽晶清洗废水和员工的生活污水。

1)清洗废水

企业清洗废水经超声波清洗机自带水箱沉淀后,由园区污水管网排入周江信息产业园污水处理厂处理。

2)生活污水

项目劳动定员10人,年生产运营260天,不设食堂和宿舍,生活废水由化粪池处理后排入周江信息产业园污水处理厂处理,处理后尾水达到标后排入萍水河。

3、声环境影响分析

本项目的主要噪声源为主要为设备运行噪声,包括MPCVD金刚石生长系统、激光切割机、超声波清洗机和抛光机等。本项目目前采取的降噪措施有:

1)大噪声设备安装减震基座;

2)噪声设备均放置在车间内,通过玻璃、封闭的门窗隔声;

3)合理布置厂房,噪声大的设备皆布置在厂区中部,尽可能远离厂界。

4、固体废弃物影响分析

建项目乙醇采用瓶装,氩气、氢气和甲烷采用高压钢瓶装,金刚石等采用袋装。固体废弃物主要是生产过程中产生的废籽晶、废切割料、废包装材料、废机油桶、含油抹布和手套及生活垃圾。

1)废籽晶、废切割料、废包装材料、废包装瓶统一收集后外售综合利用,处置前暂存在一般固废暂存间。

2)废机油桶属《国家危险废物名录》中HW49类危废(900-041-49)。根据《固体废物鉴别标准 通则》(GB34330-2017)中6.1以下物质不作为固体废物管理:任何不需要修复和加工即可用于其原始用途的物质,或者在产生点经过修复和加工后满足国家、地方制定或行业通行的产品质量标准并且用于其原始用途的物质,不作为固体废物管理。本项目购买散装机油,由供货商专业人员导入油桶,油桶重复利用,使用前暂存在危废暂存间,禁止丢弃。

3)员工在机械使用过程中会产生含油抹布和手套,含油抹布和手套属于《国家危险废物名录》(2016年版)豁免名单中编号为900-041-49的危险废物,处置可混入生活垃圾后全过程不按危险废物管理,可与生活垃圾一起交由环卫部门处理。

4)生活垃圾定点分类收集后由当地环卫部门清运。

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